晶圆搬运机械手

尺寸：303*1090*223
用于待曝光或者曝光完成的单晶硅圆片在片库与承片台间的输送以及取放；可用于4/5/6/8英寸的晶圆片；模块化结构易维护，运动采用MAXON电机+编码器闭环控制，三轴运行直线度均在0.02㎜，重复定位精度均在±0.015㎜以内；稳定性高、模块化结构易维护

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用于待曝光或者曝光完成的单晶硅圆片在片库与承片台间的输送以及取放；可用于4/5/6/8英寸的晶圆片；模块化结构易维护，运动采用MAXON电机+编码器闭环控制，三轴运行直线度均在0.02㎜，重复定位精度均在±0.015㎜以内；稳定性高、模块化结构易维护

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晶圆预对准模块

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交换手

 全封闭直线电机模组

行程（可定制）800mm的直线电机全封闭模组。采用独特的密封方案，与传统的上部钢带密封模组相比，上部可以安装坚固的盖板，使其可以更方便与高寿命的应用在激光加工领域或者半导体行业，内部采用了高分辨的编码器和无铁芯的直线电机，使运动可以更佳的顺滑和平稳，高精度等级的线性导轨使其机械运动的参数也极为优异。整体的运动过程中重复定位精度1um，补偿后定位精度可控制在2um以内，整体运行直线度5um以内。

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直线电机驱动的多轴运动平台，X轴驱动采用直线电机加高分辨率编码器，高精度等级的线性导轨，采用精度和耐用稳定性并存的大理石平台作为底座。行程600mm，重复定位精度1um，补偿后定位精度2um以内，直线度全行程10um以内。Y轴驱动方式与X轴相同，行程260mm，重复定位精度1um，补偿后定位精度2um以内，直线度全行程5um。Z轴采用伺服电机加高分辨率光栅编码器的全闭环控制方案，通过特殊的内部传动结构使电机外置，保证精度的同时也减小了整体的空间，Z轴行程16mm，重复定位精度3um，补偿后定位精度5um以内。旋转轴可连续360°，重复定位精度±2arcsec，定位精度±15arcsec。整体运行平面度±25um，XY轴正交7.5arcsec。此平台可应用于半导体等对精度有一定要求的行业。

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 XY精密滑台

Awooe-XY精密滑台是一个集成XY线性电机位移台，旨在消除单个X级和Y级的集成，并提高系统的动态应用刚度。它的特点是行程范围为 100mm，X轴和Y轴之间具有精确的正交对准，是精密工业应用的理想解决方案，X/Y重复定位±0.5μm、定位精度（含补偿）±0.5μm、直线度3μm、最大速度 X/Y:150mm/s

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