搜索
瓦力
/
/
半导体行业自制设备
CATEGROIES
产品分类

半导体行业自制设备

XY精密滑台

XY精密滑台

Awooe-XY精密滑台是一个集成XY线性电机位移台,旨在消除单个X级和Y级的集成,并提高系统的动态应用刚度。它的特点是行程范围为 100mm,X轴和Y轴之间具有精确的正交对准,是精密工业应用的理想解决方案,X/Y重复定位±0.5μm、定位精度(含补偿)±0.5μm、直线度3μm、最大速度 X/Y:150mm/s
片库

片库

尺寸:332*356*765
特征要点:
·支持4inch/5inch/6inch/8inch/12inch Cassette
·Cassette加载检测
·整体洁净度等级优于ISO Class4
·Mapping姿态检测最小支持300μm厚度
·晶圆交接重复性精度≤7μm
·运行速度最大150mm/s
·停电或紧急停止安全原位保持
·维护MTTR≤30分钟
·支持SEMI标准
版库

版库

尺寸:321*298*437
特征要点:
·支持6吋单槽和6槽位光罩盒
·光罩盒和盒盖检测
·掩膜Mapping检测
·自动完成光罩盒开解锁
·支持RFID扫读和数据上报
·支持掩膜二维码扫读和数据上报
·掩膜交接重复性精度≤40μm
·整体洁净度等级优于ISO Class4
·支持SEMI标准
上一页
1
2

无锡瓦力科技有限公司

 

电话:0510-85388486

电话:18651019777(陆先生)
传真:0510-85381676
E-mail:
kevin.lu@awooe.com
地址:无锡市新吴区北环路中关村科技创新园40号楼D7-1

深圳分公司

 

电话:19928727203( 刘先生)
地址:深圳市宝安区新安街道裕安二路165号

版权所有:无锡瓦力科技有限公司     苏ICP备17005806号-1