CATEGROIES
产品分类
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半导体行业自制设备
XY精密滑台
片库
特征要点:
·支持4inch/5inch/6inch/8inch/12inch Cassette
·Cassette加载检测
·整体洁净度等级优于ISO Class4
·Mapping姿态检测最小支持300μm厚度
·晶圆交接重复性精度≤7μm
·运行速度最大150mm/s
·停电或紧急停止安全原位保持
·维护MTTR≤30分钟
·支持SEMI标准
版库
特征要点:
·支持6吋单槽和6槽位光罩盒
·光罩盒和盒盖检测
·掩膜Mapping检测
·自动完成光罩盒开解锁
·支持RFID扫读和数据上报
·支持掩膜二维码扫读和数据上报
·掩膜交接重复性精度≤40μm
·整体洁净度等级优于ISO Class4
·支持SEMI标准
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