XXY精密对位平台 – Z轴升降式台面尺寸 : 350x350、600x600 (mm)基座尺寸 : 350x410、620x660 (mm) ★ 超薄型、轻量化平台-采用Mini stage Xyθ模块化结构,实现无中座的薄且轻的机构★ 透过特殊交叉滚柱轴承施加预压,达高刚性、高精度表现★ 中空结构设计,可作为光学式检查装置或导通测试器使用★ 在各运动轨道加入润滑系统，提高对位平台使用的寿命及精度★ 材料皆经超深冷处理,有效预防变型,大幅提升使用寿命,质量及效能★ 实行三次元全检,保证滑台出厂精度与质量
XXY精密对位平台－电磁式、气压式 台面尺寸 : 350x350 (mm)基座尺寸 : 350x350 (mm) ★ 超薄型、轻量化平台-采用Mini stage Xyθ模块化结构,实现无中座的薄且轻的机构★ 透过特殊交叉滚柱轴承施加预压,达高刚性、高精度表现★ 中空结构设计,可作为光学式检查装置或导通测试器使用★ 在各运动轨道加入润滑系统，提高对位平台使用的寿命及精度★ 材料皆经超深冷处理,有效预防变型,大幅提升使用寿命,质量及效能★ 实行三次元全检,保证滑台出厂精度与质量 台湾精品奖产品GAS00-350AC精密XXY对位平台-超高刚性型-气压式GAS00-350SC精密XXY对位平台-超高刚性型-电磁式