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CATEGROIES
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尺寸:321*298*437
特征要点:
·支持6吋单槽和6槽位光罩盒
·光罩盒和盒盖检测
·掩膜Mapping检测
·自动完成光罩盒开解锁
·支持RFID扫读和数据上报
·支持掩膜二维码扫读和数据上报
·掩膜交接重复性精度≤40μm
·整体洁净度等级优于ISO Class4
·支持SEMI标准
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产品描述
参数
加载、处理、传输掩膜版的专用设备,是掩膜传输的重要人机接口。
 
特征要点:
·支持6吋单槽和6槽位光罩盒
·光罩盒和盒盖检测
·掩膜Mapping检测
·自动完成光罩盒开解锁
·支持RFID扫读和数据上报
·支持掩膜二维码扫读和数据上报
·掩膜交接重复性精度≤40μm
·整体洁净度等级优于ISO Class4
·支持SEMI标准
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