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尺寸：321*298*437
特征要点：
·支持6吋单槽和6槽位光罩盒
·光罩盒和盒盖检测
·掩膜Mapping检测
·自动完成光罩盒开解锁
·支持RFID扫读和数据上报
·支持掩膜二维码扫读和数据上报
·掩膜交接重复性精度≤40μm
·整体洁净度等级优于ISO Class4
·支持SEMI标准

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产品描述

参数

加载、处理、传输掩膜版的专用设备，是掩膜传输的重要人机接口。

特征要点：

·支持6吋单槽和6槽位光罩盒

·光罩盒和盒盖检测

·掩膜Mapping检测

·自动完成光罩盒开解锁

·支持RFID扫读和数据上报

·支持掩膜二维码扫读和数据上报

·掩膜交接重复性精度≤40μm

·整体洁净度等级优于ISO Class4

·支持SEMI标准

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晶圆预对准模块

 全封闭直线电机模组

行程（可定制）800mm的直线电机全封闭模组。采用独特的密封方案，与传统的上部钢带密封模组相比，上部可以安装坚固的盖板，使其可以更方便与高寿命的应用在激光加工领域或者半导体行业，内部采用了高分辨的编码器和无铁芯的直线电机，使运动可以更佳的顺滑和平稳，高精度等级的线性导轨使其机械运动的参数也极为优异。整体的运动过程中重复定位精度1um，补偿后定位精度可控制在2um以内，整体运行直线度5um以内。

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直线电机驱动的多轴运动平台，X轴驱动采用直线电机加高分辨率编码器，高精度等级的线性导轨，采用精度和耐用稳定性并存的大理石平台作为底座。行程600mm，重复定位精度1um，补偿后定位精度2um以内，直线度全行程10um以内。Y轴驱动方式与X轴相同，行程260mm，重复定位精度1um，补偿后定位精度2um以内，直线度全行程5um。Z轴采用伺服电机加高分辨率光栅编码器的全闭环控制方案，通过特殊的内部传动结构使电机外置，保证精度的同时也减小了整体的空间，Z轴行程16mm，重复定位精度3um，补偿后定位精度5um以内。旋转轴可连续360°，重复定位精度±2arcsec，定位精度±15arcsec。整体运行平面度±25um，XY轴正交7.5arcsec。此平台可应用于半导体等对精度有一定要求的行业。

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 XY精密滑台

Awooe-XY精密滑台是一个集成XY线性电机位移台，旨在消除单个X级和Y级的集成，并提高系统的动态应用刚度。它的特点是行程范围为 100mm，X轴和Y轴之间具有精确的正交对准，是精密工业应用的理想解决方案，X/Y重复定位±0.5μm、定位精度（含补偿）±0.5μm、直线度3μm、最大速度 X/Y:150mm/s

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