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尺寸：332*356*765
特征要点：
·支持4inch/5inch/6inch/8inch/12inch Cassette
·Cassette加载检测
·整体洁净度等级优于ISO Class4
·Mapping姿态检测最小支持300μm厚度
·晶圆交接重复性精度≤7μm
·运行速度最大150mm/s
·停电或紧急停止安全原位保持
·维护MTTR≤30分钟
·支持SEMI标准

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产品描述

参数

加载、处理和传输晶圆的专用设备，是晶圆传输的重要人机接口。

特征要点：

·支持4inch/5inch/6inch/8inch/12inch Cassette

·Cassette加载检测

·整体洁净度等级优于ISO Class4

·Mapping姿态检测最小支持300μm厚度

·晶圆交接重复性精度≤7μm

·运行速度最大150mm/s

·停电或紧急停止安全原位保持

·维护MTTR≤30分钟

·支持SEMI标准

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XY精密滑台

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 全封闭直线电机模组

行程（可定制）800mm的直线电机全封闭模组。采用独特的密封方案，与传统的上部钢带密封模组相比，上部可以安装坚固的盖板，使其可以更方便与高寿命的应用在激光加工领域或者半导体行业，内部采用了高分辨的编码器和无铁芯的直线电机，使运动可以更佳的顺滑和平稳，高精度等级的线性导轨使其机械运动的参数也极为优异。整体的运动过程中重复定位精度1um，补偿后定位精度可控制在2um以内，整体运行直线度5um以内。

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直线电机驱动的多轴运动平台，X轴驱动采用直线电机加高分辨率编码器，高精度等级的线性导轨，采用精度和耐用稳定性并存的大理石平台作为底座。行程600mm，重复定位精度1um，补偿后定位精度2um以内，直线度全行程10um以内。Y轴驱动方式与X轴相同，行程260mm，重复定位精度1um，补偿后定位精度2um以内，直线度全行程5um。Z轴采用伺服电机加高分辨率光栅编码器的全闭环控制方案，通过特殊的内部传动结构使电机外置，保证精度的同时也减小了整体的空间，Z轴行程16mm，重复定位精度3um，补偿后定位精度5um以内。旋转轴可连续360°，重复定位精度±2arcsec，定位精度±15arcsec。整体运行平面度±25um，XY轴正交7.5arcsec。此平台可应用于半导体等对精度有一定要求的行业。

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 XY精密滑台

Awooe-XY精密滑台是一个集成XY线性电机位移台，旨在消除单个X级和Y级的集成，并提高系统的动态应用刚度。它的特点是行程范围为 100mm，X轴和Y轴之间具有精确的正交对准，是精密工业应用的理想解决方案，X/Y重复定位±0.5μm、定位精度（含补偿）±0.5μm、直线度3μm、最大速度 X/Y:150mm/s

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