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多轴运动平台
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参数
直线电机驱动的多轴运动平台,X轴驱动采用直线电机加高分辨率编码器,高精度等级的线性导轨,采用精度和耐用稳定性并存的大理石平台作为底座。行程600mm,重复定位精度1um,补偿后定位精度2um以内,直线度全行程10um以内。Y轴驱动方式与X轴相同,行程260mm,重复定位精度1um,补偿后定位精度2um以内,直线度全行程5um。Z轴采用伺服电机加高分辨率光栅编码器的全闭环控制方案,通过特殊的内部传动结构使电机外置,保证精度的同时也减小了整体的空间,Z轴行程16mm,重复定位精度3um,补偿后定位精度5um以内。旋转轴可连续360°,重复定位精度±2arcsec,定位精度±15arcsec。整体运行平面度±25um,XY轴正交7.5arcsec。此平台可应用于半导体等对精度有一定要求的行业。
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全封闭直线电机模组
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