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XXY精密对位平台模块行程 : ±15x±5、±12x±12、±15x±15 (mm)机械作动原理-中央/侧边传动-标准型、高刚性型-驱动/从动模块 ★ 超薄型、轻量化平台-采用Mini stage Xyθ模块化结构,实现无中座的薄且轻的机构★ 透过特殊交叉滚柱轴承施加预压,达高刚性、高精度表现★ 中空结构设计,可作为光学式检查装置或导通测试器使用★ 在各运动轨道加入润滑系统，提高对位平台使用的寿命及精度★ 材料皆经超深冷处理,有效预防变型,大幅提升使用寿命,质量及效能★ 实行三次元全检,保证滑台出厂精度与质量
XXY精密对位平台模块行程 : ±10x±10 (mm)机械作动原理-中央/侧边传动-标准型、高刚性型-驱动/从动模块 ★ 超薄型、轻量化平台-采用Mini stage Xyθ模块化结构,实现无中座的薄且轻的机构★ 透过特殊交叉滚柱轴承施加预压,达高刚性、高精度表现★ 中空结构设计,可作为光学式检查装置或导通测试器使用★ 在各运动轨道加入润滑系统，提高对位平台使用的寿命及精度★ 材料皆经超深冷处理,有效预防变型,大幅提升使用寿命,质量及效能★ 实行三次元全检,保证滑台出厂精度与质量
XXY精密对位平台模块行程 : ±10x±10 (mm)机械作动原理-中央传动-标准型-驱动/从动模块 ★ 超薄型、轻量化平台-采用Mini stage Xyθ模块化结构,实现无中座的薄且轻的机构★ 透过特殊交叉滚柱轴承施加预压,达高刚性、高精度表现★ 中空结构设计,可作为光学式检查装置或导通测试器使用★ 在各运动轨道加入润滑系统，提高对位平台使用的寿命及精度★ 材料皆经超深冷处理,有效预防变型,大幅提升使用寿命,质量及效能★ 实行三次元全检,保证滑台出厂精度与质量
XXY精密对位平台台面尺寸 : 1000、1500 (mm)基座尺寸 : 1200、1700 (mm)机械作动原理-中央/侧边传动-标准型、高刚性型 ★ 超薄型、轻量化平台-采用Mini stage Xyθ模块化结构,实现无中座的薄且轻的机构★ 透过特殊交叉滚柱轴承施加预压,达高刚性、高精度表现★ 中空结构设计,可作为光学式检查装置或导通测试器使用★ 在各运动轨道加入润滑系统，提高对位平台使用的寿命及精度★ 材料皆经超深冷处理,有效预防变型,大幅提升使用寿命,质量及效能★ 实行三次元全检,保证滑台出厂精度与质量
XXY精密对位平台台面尺寸 : 400、500、750 (mm)基座尺寸 : 500、600、850 (mm)机械作动原理-中央/侧边传动-标准型、高刚性型 ★ 超薄型、轻量化平台-采用Mini stage Xyθ模块化结构,实现无中座的薄且轻的机构★ 透过特殊交叉滚柱轴承施加预压,达高刚性、高精度表现★ 中空结构设计,可作为光学式检查装置或导通测试器使用★ 在各运动轨道加入润滑系统，提高对位平台使用的寿命及精度★ 材料皆经超深冷处理,有效预防变型,大幅提升使用寿命,质量及效能★ 实行三次元全检,保证滑台出厂精度与质量
XXY精密对位平台台面尺寸 : 250、350 (mm)基座尺寸 : 350、450 (mm)机械作动原理-中央/侧边传动-标准型、高刚性型 ★ 超薄型、轻量化平台-采用Mini stage Xyθ模块化结构,实现无中座的薄且轻的机构★ 透过特殊交叉滚柱轴承施加预压,达高刚性、高精度表现★ 中空结构设计,可作为光学式检查装置或导通测试器使用★ 在各运动轨道加入润滑系统，提高对位平台使用的寿命及精度★ 材料皆经超深冷处理,有效预防变型,大幅提升使用寿命,质量及效能★ 实行三次元全检,保证滑台出厂精度与质量
XXY精密对位平台台面尺寸 : 160、190、200 (mm)基座尺寸 : 170、210、350 (mm)机械作动原理-中央传动-标准型、轻量型、重载型 ★ 超薄型、轻量化平台-采用Mini stage Xyθ模块化结构,实现无中座的薄且轻的机构★ 透过特殊交叉滚柱轴承施加预压,达高刚性、高精度表现★ 中空结构设计,可作为光学式检查装置或导通测试器使用★ 在各运动轨道加入润滑系统，提高对位平台使用的寿命及精度★ 材料皆经超深冷处理,有效预防变型,大幅提升使用寿命,质量及效能★ 实行三次元全检,保证滑台出厂精度与质量
XXY精密对位平台模块行程 : ±5x±5 (mm)机械作动原理-中央/侧边传动-标准型、高刚性型-驱动/从动模块 ★ 超薄型、轻量化平台-采用Mini stage Xyθ模块化结构,实现无中座的薄且轻的机构★ 透过特殊交叉滚柱轴承施加预压,达高刚性、高精度表现★ 中空结构设计,可作为光学式检查装置或导通测试器使用★ 在各运动轨道加入润滑系统，提高对位平台使用的寿命及精度★ 材料皆经超深冷处理,有效预防变型,大幅提升使用寿命,质量及效能★ 实行三次元全检,保证滑台出厂精度与质量
XXY精密对位平台模块行程 : ±5x±5 (mm)机械作动原理-中央传动-标准型-驱动/从动模块 ★ 超薄型、轻量化平台-采用Mini stage Xyθ模块化结构,实现无中座的薄且轻的机构★ 透过特殊交叉滚柱轴承施加预压,达高刚性、高精度表现★ 中空结构设计,可作为光学式检查装置或导通测试器使用★ 在各运动轨道加入润滑系统，提高对位平台使用的寿命及精度★ 材料皆经超深冷处理,有效预防变型,大幅提升使用寿命,质量及效能★ 实行三次元全检,保证滑台出厂精度与质量